摘要: 本文僅以微電子工業的發展對空氣潔凈技術提出的要求為中心, 介紹了國外在分子態化學污染控制, 高潔凈度微環境控制, 新型潔凈產品開發以及大型潔凈室運行節能等方面, 在近幾年中的技術發展.

1, 微電子工業促進了潔凈技術的發展

2, 分子態化學污染物質的控制

3, 幾種有關特殊過濾技術

4, 微環境控制和SMIF隔離技術

5, 空氣凈化設備的開發

6, 地球環境時代的潔凈室設計與運行 \

7, 結語

當前我國正大力發展微電子工業, 上海, 北京等地已出現投資集成電路的好勢頭, 上海中芯公司投資15億美元, 建設月投資8英寸4.2萬片的生產線, 上海宏力公司投資16億美元, 建設月投8英寸硅片4萬片的生產線, 天津Motorola公司8英寸線已試運行, 北京信創公司6英寸線, 上海貝嶺公司6英寸線, 杭州士蘭公司6英寸線都在前期工作, 上海規劃" 十五"建成10條8英寸以上的生產線, 北京規劃要逐步建成20條生產線. 這對國內微電子工業的發展提供了很大的動力, 同時給國內潔凈技術的發展也提出了新的要求, 吸收和消化國外先進技術是提高國內潔凈技術水平必不可少的一個環節.