Ultrapure-50超純水在線顆粒計數器監測系統[產品打印頁面]

超純水顆粒監測系統 / 去離子水監測顆粒計數器 / 精密清洗液潔凈檢測系統 / 0.05微米微粒監控儀

Ultrapure-50 超純水在線顆粒計數監測系統
 
一, 產品特點
    去離子水廠監測水平更進一步——Ultrapure-50超純水在線顆粒計數器監測系統以可承受的價格提供非常低的顆粒濃度下小顆粒測量

二, 產品性能:

0.05和0.1μm的標準顆粒尺寸
4-20mA模擬輸出
高流速——極快的清潔時間
一體化設計——低維護量
出眾的流量設置——“設置完了就可以不管”
激光能量診斷
有顆粒計數軟件
校正完全可追溯NIST標準

三, 產品介紹:

    顆粒監測，特別是超純水(UPW)監測，仍然是半導體制造行業的一個主要門檻。設備設計規則的提高要求不斷降低制程流體中的顆粒水平。因此，制造過程中需要測試的不僅是小顆粒尺寸而且是非常低濃度下的小顆粒。
    在可承受的價格下降低了錯誤計數率，Anatel的Ultrapure-50超純水在線顆粒計數器監測系統提供了對于0.05和0.1μm的超純水(UPW)監測的整合方案。無論您的應用包括在制程中使用處(POU)的查錯，或是僅在廠務超純水廠中重要位置的監測，Ultrapure-50 在*低顆粒濃度檢測時表現出色。
    Ultrapure-50超純水在線顆粒計數器監測系統把牢固的光學結構，計數及通訊電路和獨特的流量控制系統整合在一臺儀器中，提供超群的性能。在高壓力應用中，比如去離子水廠的監測，全套系統流速可以超過1.0L/min。Ultrapure-50因為有極好的流量控制和動態的入口壓力調節具備極快的清潔和恢復時間。
    Ultrapure-50超純水在線顆粒計數器監測系統是一套完整的系統，非常容易安裝并集成到您現有的廠務監控系統(FMS)或樓宇管理系統(BMS)中。Ultrapure-50超純水在線顆粒計數器監測系統可以被當作單臺儀器使用并與許多軟件包兼容。
    顆粒計數經常和總有機碳含量(TOC)測量相互補充，Anatel是半導體和平板顯示行業的TOC監測行業標準。Anatel的TOC分析系統是可以被組合在任何水系統中的一系列模塊化的組件?，F在，因為加上了顆粒計數，Anatel使儀器功能更進一步，確保在您的高純水(UPW)管路系統中提高效率和良品率。

四, 技術參數

粒徑通道：0.05, 0.1 微米
系統流速：>1升/分鐘
樣品流速：10毫升/分鐘（樣品入口壓力調整到30-100psi）
光源：激光二極管830nm
樣品入口壓力：不超過100psig（690kpa）不低于7.0 psig
操作溫度：15～30℃
樣品溫度:   15～30℃

物理指標

電源：100-250VAC，50/60Hz
功耗：不大于90VA（100V時0.8A）
I/O接口：模擬光電隔離4-20mA輸出（標準2通道）
                RS-232 設置時用的串行口
                電氣I/O連接在儀器底部，帶有保護蓋
顯示：     2通道數據
指示燈： 電源，激光情況，泄漏情況
液體連接：SS1/4’’ Swagelok（樣品入口和出口）
                 外置流量計
外殼：      涂漆鋁殼
尺寸：      305mm(L) x 203mm(W) x 190.5mm(H)
相對濕度：不超過90%，不凝露

包含附件

包括：電源裝置，1/4’尼龍樣品和排放管，電源線，操作員手冊
 
 

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